| 发明名称 |
APPARATUS FOR DETERMINING REFERENCE VALUE OF INCIDENT POINT OF ELECTRON STREAM TO MEDIUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63462(A) |
申请公布日期 |
1988.01.05 |
| 申请号 |
JP19860252751 |
申请日期 |
1986.10.23 |
| 申请人 |
LEYBOLD HERAEUS GMBH |
发明人 |
FUORUKERU BAUERU;YOZEFU HAIMEERU;HORUSUTO RANKE |
| 分类号 |
C23C14/30;H01J37/30;H01J37/302;H01J37/305 |
主分类号 |
C23C14/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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