| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN TANTALUM OXIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63477(A) |
申请公布日期 |
1988.01.05 |
| 申请号 |
JP19860143830 |
申请日期 |
1986.06.18 |
| 申请人 |
SHARP CORP;TARUI YASUO |
发明人 |
YAMAGISHI KOJI;TARUI YASUO |
| 分类号 |
C30B29/16;C23C16/40;C23C16/48;H01L21/316 |
主分类号 |
C30B29/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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