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发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR MEMORY
摘要
申请公布号
JPS63152(A)
申请公布日期
1988.01.05
申请号
JP19860143565
申请日期
1986.06.19
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
MUROMACHI MASASHI
分类号
H01L21/76;G01C11/34;H01L27/10
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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