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经营范围
发明名称
FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号
JPS63473(A)
申请公布日期
1988.01.05
申请号
JP19860143245
申请日期
1986.06.19
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
KODERA KOICHI;OOTA TAKEO;MATSUBARA KUNIHIRO;INOUE ISAMU;AKIYAMA TETSUYA
分类号
C23C14/54
主分类号
C23C14/54
代理机构
代理人
主权项
地址
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