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发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS63110(A) 申请公布日期 1988.01.05
申请号 JP19860141333 申请日期 1986.06.19
申请人 NEC CORP 发明人 MORISHIGE YUKIO;KISHIDA SHUNJI
分类号 H01L21/205;H01L21/263;H01L21/302;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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