PROCEDIMIENTO DE FABRICACION DE DISPOSITIVOS EN ESTADO SOLIDO TALES COMO DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES DE BURBUJA MAGNETICA DE COMUNICACION OPTICA CON UNA CAPA ORGANICA,GENERALMENTE UN POLIMERO,POR DELINEACION MEDIANTE UN ATMOSFERA DE

摘要

PROCEDIMIENTO PARA FABRICAR DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES DE BURBUJA MAGNETICA Y DE COMUNICACION OPTICA. COMPRENDE: A) PROPORCIONAR UN PRECURSOR QUE CONTENGA UNA CAPA ORGANICA; B) SORBER UN GAS EN LA CAPA ORGANICA; C) IRRADIAR LA CAPA ORGANICA CON RADIACION ACTINICA; D) FORMAR UN COMPUESTO PROTECTOR EN UNA PORCION DE LA CAPA ORGANICA; Y E) SEPARAR POR EXPOSICION AL PLASMA, OTRA PORCION DEL PRECURSOR DEL DISPOSITIVO NO PROTEGIDO QUE NO ESTA PROTEGIDA POR EL COMPUESTO PROTECTOR. LA CAPA ORGANICA ES UNA CAPA SUBYACENTE EN UN MATERIAL RESISTIVO DE NIVELES MULTIPLES COMO UNA RESINA NOVOLACA Y POLIMERO QUE CONTIENE GRUPOS ACRILICOS ACIDOS; LA CAPA INORGANICA SE ELIGE ENTRE SILICIO (SI), GERMANIO (GE) Y ESTAÑO (SN) Y PERTENECE A UN COMPUESTO PROTECTOR DE DICHA CAPA ORGANICA; EL GAS ES UN HALURO ORGANICO Y EL PLASMA TIENE OXIGENO. SE UTILIZA PARA DELINEAR MODELOS EMPLEADOS PARA DEFINIR GEOMETRIA DE DISPOSITIVOS EN ESTADO SOLIDO O EN BURBUJA.