发明名称 LASER INDUCED ION BEAM GENERATOR
摘要
申请公布号 GB2155042(B) 申请公布日期 1987.12.31
申请号 GB19850004480 申请日期 1985.02.21
申请人 * HUGHES TECHNOLOGY PTY LTD 发明人 JOHN LEONARD * HUGHES
分类号 C23C14/28;C23C14/48;H01J37/317;H05K3/14;H05K3/40 主分类号 C23C14/28
代理机构 代理人
主权项
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