发明名称 |
LASER INDUCED ION BEAM GENERATOR |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2155042(B) |
申请公布日期 |
1987.12.31 |
申请号 |
GB19850004480 |
申请日期 |
1985.02.21 |
申请人 |
* HUGHES TECHNOLOGY PTY LTD |
发明人 |
JOHN LEONARD * HUGHES |
分类号 |
C23C14/28;C23C14/48;H01J37/317;H05K3/14;H05K3/40 |
主分类号 |
C23C14/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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