发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR ARRAY
摘要
申请公布号 JPS62297880(A) 申请公布日期 1987.12.25
申请号 JP19860141939 申请日期 1986.06.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TSUTSU HIROSHI
分类号 G09F9/30;G02F1/133;G02F1/136;G02F1/1368;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 G09F9/30
代理机构 代理人
主权项
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