发明名称 PROCEDE ET AGENCEMENT POUR PULVERISER UNE MATIERE PAR DECHARGE A HAUTE FREQUENCE
摘要 <P>1.PROCEDE ET AGENCEMENT POUR PULVERISER UNE MATIERE PAR DECHARGE A HAUTE FREQUENCE ENTRE AU MOINS DEUX ELECTRODES 5, 6, 11 DONT AU MOINS UNE 5 PORTE LA MATIERE A PULVERISER ET L'AUTRE 6, 11 CONSTITUE UNE CONTRE-ELECTRODE. UN CHAMP MAGNETIQUE EST PRODUIT DANS LA REGION DE CETTE DERNIERE. LES LIGNES 10 DE CE CHAMP SUIVENT, POUR LEUR PARTIE ESSENTIELLE, DES TRAJETS TRAVERSANT LA CONTRE-ELECTRODE 11, EN FORMANT DES ARCEAUX AU-DESSUS DE CELLE-CI. LA DENSITE DE FLUX MAGNETIQUE DANS UNE REGION DE LA CONTRE-ELECTRODE 6, 11 EST TELLE QU'UN PIEGE A ELECTRONS SOIT FORME DEVANT CELLE-CI. DES AIMANTS 9 PRODUISENT LE CHAMP MAGNETIQUE DANS LA REGION DE LA CONTRE-ELECTRODE. LE RAPPORT FF DE L'ENSEMBLE DE LA SURFACE F DE CONTRE-ELECTRODE 6, 11 PARTICIPANT A LA DECHARGE A L'ENSEMBLE F DES SURFACES D'ELECTRODE 5 PORTANT LA MATIERE A PULVERISER EST AU MAXIMUM DE 10:1.</P>
申请公布号 FR2600269(A1) 申请公布日期 1987.12.24
申请号 FR19870008516 申请日期 1987.06.18
申请人 BALZERS AG 发明人 KLAUS WELLERDIECK, URS WEGMANN ET KARL HOFLER;WEGMANN URS;HOFLER KARL
分类号 C23C14/40;C23C14/35;C23F4/00;H01J37/32;H01J37/34;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):B05B5/02;B05B5/08 主分类号 C23C14/40
代理机构 代理人
主权项
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