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发明名称 METHOD OF MEASURING THE ELECTRIC POTENTIAL ON A BURIED SOLID-STATE SUBSTANCE
摘要
申请公布号 EP0107772(B1) 申请公布日期 1987.12.23
申请号 EP19830109005 申请日期 1983.09.12
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 SCHINK, HELMUT, DIPL.-PHYS.
分类号 G01R31/26;G01Q30/02;G01R31/265;G01R31/302;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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