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发明名称 PRODUCTION OF MASK
摘要
申请公布号 JPS62295672(A) 申请公布日期 1987.12.23
申请号 JP19860140515 申请日期 1986.06.16
申请人 NEC CORP 发明人 BETSUYAKU MASAHIKO
分类号 A62B18/00;A62B18/02 主分类号 A62B18/00
代理机构 代理人
主权项
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