| 发明名称 |
ELECTRONIC CIRCUIT IRRADIATION APPLIANCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS62296530(A) |
申请公布日期 |
1987.12.23 |
| 申请号 |
JP19870128513 |
申请日期 |
1987.05.27 |
| 申请人 |
COMMISS ENERG ATOM |
发明人 |
ORIBIE MUTSUSOO;JIERAARU DESHIYAZEOO |
| 分类号 |
G21K5/02;G01R31/302;G01R31/3183;H01L21/66 |
主分类号 |
G21K5/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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