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发明名称 VERFAHREN ZUR SIMULTANEN BEHUEGELUNG EINER VIELZAHL ELEKTRONISCHER BAUELEMENTE
摘要
申请公布号 DD252706(A1) 申请公布日期 1987.12.23
申请号 DD19860294205 申请日期 1986.09.08
申请人 TU DRESDEN DIREKT. FORSCH.,DD 发明人 SCHOEPKE,ROLAND,DD;BERNDT,KLAUS,DD
分类号 H01L21/603;(IPC1-7):H01L21/603 主分类号 H01L21/603
代理机构 代理人
主权项
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