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发明名称
HEATING RESISTOR OF SINGLE CRYSTAL MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号
EP0127280(B1)
申请公布日期
1987.12.23
申请号
EP19840301971
申请日期
1984.03.23
申请人
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
发明人
FUJII, TAKASHI;USHIZAWA, JISABURO;WATANABE, MASAYUKI
分类号
C30B15/14;(IPC1-7):C30B15/14
主分类号
C30B15/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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