发明名称 FORMING AN EVAPORATED PNICTIDE FILM IN PRESENCE OF A CRACKER
摘要
申请公布号 IE841639(L) 申请公布日期 1984.12.29
申请号 IE19840001639 申请日期 1984.06.28
申请人 STAUFFER CHEMICAL CO. 发明人
分类号 C23C14/26;H01L21/363;(IPC1-7):C23C14/26 主分类号 C23C14/26
代理机构 代理人
主权项
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