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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR THE ELECTRICAL TESTING OF MICRO-WIRINGS
摘要
申请公布号 EP0102565(B1) 申请公布日期 1987.12.23
申请号 EP19830108084 申请日期 1983.08.16
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 DOEMENS, GUNTER, DR. ING.;MENGEL, PETER, DR. RER.NAT.
分类号 G01R31/12;G01R1/07;G01R27/00;G01R31/02;G01R31/302;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R31/12
代理机构 代理人
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