发明名称 PROCESS FOR PREPARING A THIN FILM AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 EP0200287(A3) 申请公布日期 1987.12.23
申请号 EP19860300485 申请日期 1986.01.24
申请人 TORAY INDUSTRIES, INC. 发明人 AOKI, TAKAO;KAWABE, NORIO
分类号 B29C41/24;B29C41/36;(IPC1-7):B29C39/14 主分类号 B29C41/24
代理机构 代理人
主权项
地址