发明名称 METAL INSULATOR SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR THE FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 EP0145583(A3) 申请公布日期 1987.12.23
申请号 EP19840402454 申请日期 1984.11.30
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 SHIRATO, TAKEHIDE;YOSHIDA, TOSHIHIKO
分类号 H01L21/8234;H01L21/74;H01L27/088;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/41;H01L29/417;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/74;H01L29/52 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
主权项
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