发明名称 TERMISKE KRAKKERE TIL DANNELSE AF PNICTIDFILM VED HOEJVAKUUMPROCESSER
摘要
申请公布号 DK317684(A) 申请公布日期 1984.12.30
申请号 DK19840003176 申请日期 1984.06.28
申请人 STAUFFER CHEMICAL COMPANY 发明人 BROCK DAVID G.;BAUMANN JOHN ANDREW
分类号 C23C14/06;C23C14/24;H01L51/05;(IPC1-7):C30B/;B05C/;H01L/ 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
地址