| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG KERAMISCHEN MATERIALS MIT PIEZOELEKTRISCHEN EIGENSCHAFTEN |
| 摘要 |
A method for manufacturing piezo-electric ceramic materials having predetermined acoustic impedance, wherein internal cavities are generated by a photolithographic process, utilizing a foil stack of green ceramic foils. |
| 申请公布号 |
DE3619871(A1) |
申请公布日期 |
1987.12.17 |
| 申请号 |
DE19863619871 |
申请日期 |
1986.06.13 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
BAST,ULRICH,DR.;WERSING,WOLFRAM,DIPL.-PHYS. |
| 分类号 |
C04B35/491;C04B35/64;H01L41/24;H01L41/37;H01L41/39;H01L41/43;(IPC1-7):C04B35/64;C04B35/00;C04B41/48;H01L41/22;G03F7/00 |
主分类号 |
C04B35/491 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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