| 发明名称 |
Cell for epitaxial growth by molecular jets, and associated process. |
| 摘要 |
<p>Cellule pour épitaxie par jets moléculaires.</p><p>Elle comporte une chambre de vaporisation (21) contenant le matériau (23) à vaporiser, munie d'au moins une ouverture de section déterminée pour maintenir le matériau à vaporiser (23) à l'état liquide à l'intérieur de ladite chambre (21) et pour émettre des jets moléculaires à flux contrôlé, un manchon (35) solidaire de la chambre de vaporisation (21), entourant la (ou les) ouverture(s) (27) à section déterminée, des moyens de chauffage (37) pour maintenir la chambre de vaporisation (21) isotherme et obtenir une température suffisante dans le manchon (35) afin d'éviter la condensation du matériau vaporisé dans ledit manchon et dans la (ou les) ouverture(s) à section déterminée. </p> |
| 申请公布号 |
EP0249516(A1) |
申请公布日期 |
1987.12.16 |
| 申请号 |
EP19870401094 |
申请日期 |
1987.05.14 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
DEMAY, YVES;GAILLIARD, JEAN PIERRE;MILLION, ALAIN;PIAGUET, JEAN |
| 分类号 |
C30B23/08;C30B23/06;H01L21/203;(IPC1-7):C30B23/06 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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