发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPS62288883(A) 申请公布日期 1987.12.15
申请号 JP19860133171 申请日期 1986.06.09
申请人 ALPS ELECTRIC CO LTD 发明人 FUJIWARA YOSHIYUKI
分类号 H01L27/12;G02F1/133;G02F1/136;G02F1/1368;G09F9/30;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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