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发明名称 APPARATUS FOR CONVEYING A SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 EP0152555(A3) 申请公布日期 1987.12.09
申请号 EP19840114194 申请日期 1984.11.23
申请人 PLASMA-THERM, INC. 发明人 RICHARDS, EDMOND A.
分类号 H01L21/67;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00;H05K13/02 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
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