| 发明名称 |
PLASMA SCULPTURING WITH A NON-PLANAR SACRIFICIAL LAYER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0155668(A3) |
申请公布日期 |
1987.12.09 |
| 申请号 |
EP19850103145 |
申请日期 |
1985.03.19 |
| 申请人 |
HARRIS CORPORATION |
发明人 |
GIMPELSON, GEORGE E.;RUSSO, CHERYL L. |
| 分类号 |
C23F4/00;B23K10/00;B23K28/00;C03C15/00;C03C23/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3105;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
