表面声波沟槽谐振器的制作工艺

摘要

本发明的要点在于对制作SAW器件的光刻、套刻和镀膜的工艺过程中，采用了去离子水、橡皮泥球、通入纯氧和烘烤的步骤，这就可以减少了紫外线在掩膜板与基片界面上的光反射和光折射，使得掩模版与基片得到良好的支撑和吻合，提高了除气去污的能力，从而提高了光刻分辨率、套刻的精度，保证了镀膜的质量。

主权项

1、一种制作SAW器件的制作工艺，其特征在于采用在基片和掩模版中间夹有去离子水，橡胶泥作基片底部的软支撑，在初抽真空时通入高纯氧和烧烤的工艺过程。