| 发明名称 |
PLASMA-ASSISTED ETCHING PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IE52530(B1) |
申请公布日期 |
1987.12.09 |
| 申请号 |
IE19810002455 |
申请日期 |
1981.10.19 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC COMPANY INCORPORATED |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/312;(IPC1-7):C09K13/00 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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