发明名称 METHOD OF FORMING GROOVE IN SILICON SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS62282457(A) 申请公布日期 1987.12.08
申请号 JP19870061433 申请日期 1987.03.18
申请人 TEXAS INSTR INC <TI> 发明人 MONTE EE DAGURASU
分类号 H01L27/10;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/108 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
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