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发明名称
摘要
申请公布号
JPS62192641(U)
申请公布日期
1987.12.08
申请号
JP19860081292U
申请日期
1986.05.29
申请人
发明人
分类号
H01L29/417;G01R31/26;H01L21/338;H01L21/60;H01L29/80;H01L29/812
主分类号
H01L29/417
代理机构
代理人
主权项
地址
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