PUMPING MODULE ARRANGEMENT AND MANIFOLD

摘要

Une nouvelle technique de connexion de deux ou plusieurs unités de pompage (114, 116) sous une hotte à écoulement laminaire est décrite. La technique comprend l'utilisation d'un nouveau collecteur qui est conçu de manière spécifique pour améliorer l'écoulement d'air laminaire à travers l'orifice de sortie du collecteur lorsqu'il est connecté à l'une des unités de pompage. Le collecteur comprend une enceinte cylindrique ayant un orifice de sortie s'étendant axialement et deux ou plusieurs ensembles d'orifices d'entrée s'étendant radialement et partant de l'enceinte cylindrique. Les orifices d'entrée de chaque ensemble sont situés à intervalles rapprochés les uns par rapport aux autres pour réduire au minimum la longueur de l'enceinte cylindrique. Un canal de fluides commun s'étend sensiblement sur toute la longueur de l'enceinte cylindrique pour relier chacun des orifices d'entrée à l'unique orifice de sortie.