发明名称 PROCESS FOR PRODUCING A SEMICONDUCTOR DEVICE USING A DIFFUSION STEP
摘要
申请公布号 EP0058566(B1) 申请公布日期 1987.12.02
申请号 EP19820300792 申请日期 1982.02.17
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 SAKURAI, JUNJI
分类号 H01L21/22;H01L21/268;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/8226;H01L27/082;H01L29/73;(IPC1-7):H01L21/268;H01L21/225 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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