发明名称 ISOLATION OF SILICON
摘要
申请公布号 GB8725497(D0) 申请公布日期 1987.12.02
申请号 GB19870025497 申请日期 1987.10.30
申请人 UNITED KINGDOM ATOMIC ENERGY AUTHORITY 发明人
分类号 H01L21/265;H01L21/762 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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