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发明名称 PROCESS FOR REGENERATING CLEANING FLUID
摘要
申请公布号 EP0075882(B1) 申请公布日期 1987.12.02
申请号 EP19820108841 申请日期 1982.09.24
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 FURUTANI, YASUMASA;HIRA, YASUO;HASEGAWA, TAKASHI;MINATO, AKIRA;SUMITA, OSAO;ITOW, HISAO
分类号 C02F1/461;C23G1/36;G21F9/06;(IPC1-7):C23G1/36;G21F9/00 主分类号 C02F1/461
代理机构 代理人
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