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发明名称 METHOD FOR FORMING THIN FILMS
摘要
申请公布号 EP0118576(B1) 申请公布日期 1987.12.02
申请号 EP19830102419 申请日期 1983.03.11
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KUBOTA, HITOSHI;TANAKA, MINORU;AIUCHI, SUSUMU
分类号 C23C14/04;H05K3/14;(IPC1-7):C23C28/00;H01L21/00 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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