发明名称 METHOD AND STRUCTURE FOR CREATING TETRAPOLE STATIC ELECTRIC FIELD BY CLOSED BOUNDARY
摘要
申请公布号 JPS62188153(U) 申请公布日期 1987.11.30
申请号 JP19860076331U 申请日期 1986.05.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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