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发明名称 METHOD OF FORMING CONTACT HOLE
摘要
申请公布号 JPS62274694(A) 申请公布日期 1987.11.28
申请号 JP19860117960 申请日期 1986.05.22
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NIITSUMA AKIRA;SAITO MASAYUKI
分类号 H05K3/00;H05K3/40;H05K3/46 主分类号 H05K3/00
代理机构 代理人
主权项
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