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发明名称
摘要
申请公布号
JPS62186445(U)
申请公布日期
1987.11.27
申请号
JP19860075528U
申请日期
1986.05.20
申请人
发明人
分类号
H01L27/12;G02F1/133;G02F1/136;G02F1/1368;G09F9/30;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/78
主分类号
H01L27/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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