| 发明名称 |
REACTIVE VAPOUR DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU567578(B2) |
申请公布日期 |
1987.11.26 |
| 申请号 |
AU19840032497 |
申请日期 |
1984.08.29 |
| 申请人 |
LEYBOLD-HERAEUS GMBH, |
发明人 |
ANTON DIETRICH;KLAUS HARTIG;MICHAEL SCHERER |
| 分类号 |
C23C14/36;C23C14/00;C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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