| 发明名称 |
DEVICE FOR CONDUCTING OPERATION REGARDING WORKPIECE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS62272186(A) |
申请公布日期 |
1987.11.26 |
| 申请号 |
JP19870049893 |
申请日期 |
1987.03.04 |
| 申请人 |
RANKU TEIRAA HOBUSON LTD |
发明人 |
ANSONII BURUUSU BAANABII;MAIKERU UORUTAA MIRUZU |
| 分类号 |
G01B21/00;B23Q1/54;G01B5/00;G01B5/255;G01B7/28;G12B5/00;H01L21/68 |
主分类号 |
G01B21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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