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发明名称 THERMALLY CONTROLLED SPUTTERING OF HIGH ANISOTROPY MAGNETIC MATERIAL
摘要
申请公布号 EP0151861(A3) 申请公布日期 1987.11.25
申请号 EP19840306985 申请日期 1984.10.12
申请人 GRUMMAN AEROSPACE CORPORATION 发明人 PIRICH, RONALD G.;LARSON, DAVID J.
分类号 C23C14/00;C23C14/14;C23C14/34;H01F10/12;H01F41/18;(IPC1-7):H01F41/18 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
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