发明名称 VERFAHREN ZUM ERZEUGEN VON DURCHBRENNELEMENTEN
摘要
申请公布号 DD251857(A1) 申请公布日期 1987.11.25
申请号 DD19860293327 申请日期 1986.08.01
申请人 VEB ZENTRUM FUER FORSCHUNG UND TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONIK,DD 发明人 KOEHLER,ROLAND,DD
分类号 (IPC1-7):H01L21/90 主分类号 (IPC1-7):H01L21/90
代理机构 代理人
主权项
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