| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR PHOTOCHEMICAL VAPOR DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS62270776(A) |
申请公布日期 |
1987.11.25 |
| 申请号 |
JP19870046927 |
申请日期 |
1987.03.03 |
| 申请人 |
UNIV DELAWARE |
发明人 |
SUKOTSUTO SHII JIYAKUSON;RICHIYAADO II ROSHIYUREE |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/48;H01L21/263;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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