发明名称 ACTUATOR
摘要
申请公布号 EP0155694(A3) 申请公布日期 1987.11.25
申请号 EP19850103356 申请日期 1985.03.22
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 MORI, KENJI;OGISO, TOSHIO
分类号 H01L41/09;(IPC1-7):H01L41/08 主分类号 H01L41/09
代理机构 代理人
主权项
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