| 发明名称 |
ACCESS APPARATUS OF NEGATIVE PRESSURE CONTAINER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS62270773(A) |
申请公布日期 |
1987.11.25 |
| 申请号 |
JP19870112233 |
申请日期 |
1987.05.08 |
| 申请人 |
MAIKURION LTD PAATONAASHITSUPU |
发明人 |
NIKORASU GUARINO |
| 分类号 |
H01L21/677;C23C14/56;H01J37/18;H01J37/20;H01L21/673 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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