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发明名称
摘要
申请公布号 JPS62184483(U) 申请公布日期 1987.11.24
申请号 JP19860071785U 申请日期 1986.05.13
申请人 发明人
分类号 G01T1/29;H01L21/027;H01L21/30;H01L31/00;H01L31/09;(IPC1-7):G01T1/29 主分类号 G01T1/29
代理机构 代理人
主权项
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