发明名称 FOUR DE CHAUFFAGE ET/OU DE TRAITEMENT DE PASTILLES ET MECANISME DE TRANSFERT DE PASTILLES EQUIPANT CE FOUR AINSI QUE PROCEDE DE TRANSFERT DE PASTILLES UTILISE DANS CE FOUR
摘要 LE MECANISME DE TRANSFERT DE PASTILLES SERVANT AU TRANSFERT DE PASTILLES 35 ENTRE DES CASSETTES 37 ET UNE NACELLE 39 UTILISE DES CAPTEURS POUR DETECTER ET MESURER TOUT DECALAGE DU CENTRE REEL DE CHAQUE PASTILLE EN COURS DE TRANSFERT PAR RAPPORT AU CENTRE ATTENDU OU PRE-ETALONNE DE CETTE PASTILLE. UN REGLAGE APPROPRIE EST EFFECTUE POUR ELIMINER EFFICACEMENT CE DECALAGE DE FACON QUE CHAQUE PASTILLE PUISSE ETRE TRANSFEREE A TRAVERS TOUT LE SYSTEME SANS AUCUN CONTACT DES BORDS ENTRE UNE PASTILLE ET LA NACELLE OU LA CASSETTE. LE SYSTEME COMPREND AUSSI UN ENSEMBLE 25 D'ECHANGE DE NACELLES AYANT UN PLATEAU TOURNANT 41 COOPERANT AVEC DEUX NACELLES. L'ENSEMBLE D'ECHANGE DE NACELLES PERMET UN REGIME DE FONCTIONNEMENT CONTINU DANS LEQUEL UNE NACELLE PEUT ETRE SOUMISE A UN CHARGEMENT OU UN DECHARGEMENT DE PASTILLES A UN POSTE SUR LE PLATEAU TOURNANT TANDIS QU'UNE AUTRE NACELLE EST A UN POSTE DE CHARGEMENT OU DE DECHARGEMENT DE CHAMBRE DE CHAUFFAGE SUR LE PLATEAU TOURNANT, OU S'APPROCHE OU S'ELOIGNE DE CE POSTE.
申请公布号 FR2598793(A1) 申请公布日期 1987.11.20
申请号 FR19870006851 申请日期 1987.05.15
申请人 SILICON VALLEY GROUP INC 发明人 JEAN BENOIT HUGUES, LYNN (NMN) WEBER, JAMES E. HERLINGER, KATSUHITO (NMN) NISHIKAWA, DONALD L. SCHUMAN ET GARY W. YEE;LYNN;WEBER NMN;HERLINGER JAMES E;KATSUHITO;NISHIKAWA NMN;SCHUMAN DONALD L;YEE GARY W
分类号 H01L21/22;B65G49/07;H01L21/00;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):F27D3/12;B65G49/05 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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