发明名称 MICROWAVE HEATER
摘要
申请公布号 JPS62268086(A) 申请公布日期 1987.11.20
申请号 JP19860110556 申请日期 1986.05.16
申请人 SHIMADA PHYS & CHEM IND CO LTD 发明人 MURATA KAZUE;ISHII HIDEO
分类号 H05B6/80;H01L21/22;H01L21/324;H05B6/74 主分类号 H05B6/80
代理机构 代理人
主权项
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