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发明名称
PROCESS AND DEVICE FOR THE ION ANALYSIS OF NON-CONDUCTING SPECIMEN
摘要
申请公布号
EP0114765(B1)
申请公布日期
1987.11.19
申请号
EP19840400078
申请日期
1984.01.13
申请人
CAMECA
发明人
SLODZIAN, GEORGES;CHAINTREAU, MARCEL;DENNEBOUY, ROGER
分类号
H01J37/252;G01N23/225;H01J37/02;(IPC1-7):G01N23/225
主分类号
H01J37/252
代理机构
代理人
主权项
地址
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