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发明名称 PROCESS AND DEVICE FOR THE ION ANALYSIS OF NON-CONDUCTING SPECIMEN
摘要
申请公布号 EP0114765(B1) 申请公布日期 1987.11.19
申请号 EP19840400078 申请日期 1984.01.13
申请人 CAMECA 发明人 SLODZIAN, GEORGES;CHAINTREAU, MARCEL;DENNEBOUY, ROGER
分类号 H01J37/252;G01N23/225;H01J37/02;(IPC1-7):G01N23/225 主分类号 H01J37/252
代理机构 代理人
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