发明名称 |
TEMPERATURE CONTROLLER FOR LAMP ANNEALING FURNACE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS62266386(A) |
申请公布日期 |
1987.11.19 |
申请号 |
JP19860106729 |
申请日期 |
1986.05.12 |
申请人 |
KOYO SEIKO CO LTD;KOYO RINDOBAAGU KK |
发明人 |
MIYOSHI SHINJI;OMICHI TOSHIHIKO |
分类号 |
F27B17/00;H01L21/26;H01L21/265 |
主分类号 |
F27B17/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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