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发明名称 METHOD OF DETECTING A POSITION
摘要
申请公布号 EP0179438(A3) 申请公布日期 1987.11.19
申请号 EP19850113379 申请日期 1985.10.22
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KOMEYAMA, YOSHIHIRO;KEMBO, YUKIO;KUNI, ASAHIRO;FUNATSU, RYUUICHI HIGASHI-NO-MACHI;INAGAKI, AKIRA SUN PALACE SHIMONAGAYA 503;IKEDA, MINORU;OKAMOTO, KEIICHI
分类号 G01R31/26;G03F9/00;H01L21/30;(IPC1-7):G03B41/00 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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