| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Heliumlecksuchanlage mit einer Massenspektrometerzelle (1) an der Saugseite einer Molekularpumpe (2) und mit einer mechanischen Vorpumpe, wobei ein Prüfling bzw. eine Prüfsonde (3) zwischen den beiden Pumpen angeschlossen ist. Erfindungsgemäß besteht die mechanische Vorpumpe aus drei hintereinandergeschalteten Stufen (5, 6, 7).</p> |
